안전을 위한 조치: 화학적 웨이퍼 세척 과정에서의 적외선 램프 사용 화학 물질을 사용하여 웨이퍼를 세척할 때는, 사실상 폭발성이 강한 용제들과 함께 작업하는 셈입니다. 이러한 환경에서는 일반적인 적외선 램프도 단순한 도구가 아니라 오히려 위험 요소가 됩니다. 약간의...

웨이퍼 플로어에서 포토레지스트 프리베이크 또는 웨이퍼 건조 중 발생하는 열 드리프트는 단순한 라인 속도 저하 문제가 아니다. 이는 결함을 웨이퍼에 유발하며, 용납할 수 없는 문제다. 웨이퍼 장비용 적외선 램프 소켓은 한 가지 목적을 위해 설계된다. 공정 온도를 안정적...