클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 환경에서 실리콘 웨이퍼를 가열한다면, 가스가 발생하는 문제가 얼마나 심각한지 이미 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 VOC 같은 물질만 있어도 전체 제품이 폐기되고 맙니다. 정말 짜증나는 일이죠.
그래서 우리는 일반적인 가열 요소를 사용하지 않습니다. 대신 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
왜 석영인가요?
금속으로 된 가열 요소는 시간이 지남에 따라 산화되거나 벗겨지는 경향이 있습니다. 이는 청정실에서는 치명적인 문제가 됩니다. 우리가 사용하는 융합 석영은 금속 이온의 이동을 막을 만큼 순도가 높습니다.
게다가 비접촉식 방식이기 때문에 IR 복사선이 직접 웨이퍼 표면에 닿습니다. 접촉이나 마찰이 전혀 없으며, 물리적 마모도 발생하지 않습니다. 그야말로 깨끗한 에너지입니다.
“무공해” 방식
우리는 모든 불필요한 요소를 제거했습니다. 접착제나 저가의 폴리머 같은 것들도 전혀 사용하지 않습니다. 모든 부품은 화학적으로 안정적입니다.
또한 열팽창 문제도 신경 썼습니다. 이러한 램프들은 빠르게 작동해도 깨지지 않습니다.
단, 주의할 점은 최대 출력으로 작동할 때 매우 뜨거워진다는 것입니다. 진공이나 공기 흐름 시스템이 그 열을 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 장비가 과열될 수 있습니다.
작업 과정에 통합하기
우리는 램프의 크기를 작게 설계하여 기존의 처리 장치에 쉽게 장착할 수 있도록 했습니다. 이 램프들은 그대로 교체할 수 있도록 설계되어 있어, 몇 시간 동안 작동이 중단되는 일도 없습니다.
또한 고순도 재료를 사용하기 때문에, 저가형 램프에서 흔히 발생하는 유리 표면의 흐림 현상도 나타나지 않습니다. IR 복사선의 전달 효율도 오랫동안 유지됩니다.
전력 공급이 안정적이고 조용하다면, 웨이퍼 전체에 균일한 온도가 유지됩니다. 그게 전부입니다.