TSV シリコン貫通ビア ヒーター

ファブの現場では、TSVのエッチングや充填処理において、温度変動の余地はありません。フォトレジストを焼成する際に2℃程度の温度変動があれば、重要な寸法の制御が崩れ、ビア内に空洞ができてしまいます。TSVヒーターにより、プロセス全体を通じてウェーハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができます。 内...