Fermate il problema delle “pareti calde” nei vostri impianti di produzione dei semiconduttori
La maggior parte degli elementi riscaldanti standard è piuttosto inefficiente: essi irradiano calore in tutte le direzioni, ovvero in 360 gradi. Nei laboratori di produzione dei semiconduttori, questo rappresenta un vero incubo.
Quando il calore si diffonde ovunque, le pareti interne degli impianti assorbono tutto quel calore. Di conseguenza si creano delle “pareti calde”, il che rappresenta un doppio problema: da un lato si spreca moltissima energia, dall’altro gli impianti diventano pericolosi per chi si trova vicino a loro.
Ecco come risolviamo il problema.
Utilizziamo lampade a infrarossi a onde corte, ma con una particolarità: aggiungiamo uno strato riflettente. In questo modo, il calore non viene assorbito dal corpo dell’impianto, ma viene invece diretto verso il bersaglio desiderato. È come utilizzare una torcia invece di una semplice lampadina. Tutta quell’energia termica va esattamente dove deve andare: sulla wafer o sul substrato su cui avviene la lavorazione.
Il corpo dell’impianto smette quindi di funzionare come una sorta di “spugna” che assorbe il calore; tutto funziona in modo più efficiente.
I dettagli tecnici
Per ottenere ottimi risultati, è importante considerare la potenza delle lampade e la forma del riflettore. Utilizziamo lampade ad alta densità, poiché i processi di produzione richiedono un rapido aumento della temperatura. Per evitare che le strutture dell’impianto si deformino sotto pressione, utilizziamo involucri in quarzo.
Tuttavia, bisogna fare attenzione al flusso di calore: se si inseriscono troppe wattate in uno spazio ridotto, la temperatura supererà il livello desiderato. Inoltre, i regolatori PID devono essere regolati in modo appropriato per gestire il ritmo di emissione del calore. Altrimenti, si verificheranno oscillazioni termiche, e la temperatura continuerà a salire e scendere.
Mantenere tutto sicuro ed efficiente
La cosa migliore? La superficie esterna degli impianti rimane fresca. I operai possono caricare i materiali o eseguire eventuali manutenzioni senza temere di rimanere scottati dalle pareti dell’impianto.
Se volete effettuare un aggiornamento, queste lampade sono progettate per sostituire facilmente quegli vecchi elementi riscaldanti non direzionali. Assicuratevi soltanto che i cavi siano in grado di gestire la corrente necessaria.
Un ultimo consiglio: verificate l’allineamento del riflettore dopo averlo collegato. Anche una piccola inclinazione può influenzare la distribuzione del calore, causando problemi nella lavorazione delle wafer. Piccoli aggiustamenti, grande differenza.