Smettete di sprecare calore nelle vostre attrezzature di produzione
La maggior parte degli elementi riscaldanti funziona come le lampadine: emettono energia in tutte le direzioni. In una fabbrica di semiconduttori, questo rappresenta un problema. Quando si cerca di riscaldare un wafer, in realtà si finisce per riscaldare anche l’interno dell’attrezzo stesso; in questo modo si spreca energia inutilmente. Peggio ancora, l’attrezzo diventa come un enorme radiatore, che può addirittura causare ustioni ai operai.
Per risolvere questo problema, utilizziamo tecnologia a infrarossi direzionali.
Come funziona realmente
Le lampade tradizionali emettono calore ovunque. Noi, invece, utilizziamo riflettori ed emettitori selezionativi per concentrare l’energia a infrarossi esattamente sul substrato da riscaldare. In questo modo, il guscio esterno dell’attrezzo rimane fresco al tatto, anche quando all’interno le temperature sono molto elevate.
Ottenere il giusto profilo termico
Non basta semplicemente inserire una lampada ad alta potenza nell’attrezzo e sperare nel meglio. Se l’energia emessa dalla lampada non corrisponde a quella che il materiale è in grado di assorbire, l’energia viene semplicemente respinta dal wafer e colpisce le pareti dell’attrezzo. Ecco perché scegliamo lampade con lunghezze d’onda specifiche: in questo modo il wafer riesce effettivamente ad assorbire il calore.
Inoltre, il sistema di condizionamento dell’aria vi ringrazierà: non dovrete più lottare contro il calore che fuoriesce dalle vostre attrezzature.
I vantaggi e i limiti (e come affrontarli)
Bisogna ricordare che il riscaldamento direzionale non è certo un trucco magico. Concentrando l’energia in un punto specifico, si crea una grande densità di calore. Se la posizione della lampada non è precisa, si creano zone surriscaldate sul wafer. Pertanto, i supporti della lampada devono essere perfettamente calibrati. Non c’è spazio per errori.
Se non siete sicuri della posizione corretta, utilizzate una telecamera termica per verificare le temperature delle pareti dell’attrezzo. Se la temperatura superficiale supera i 45°C, significa che c’è una perdita di energia. Passando a sistemi a infrarossi direzionali, potrete mantenere le temperature desiderate, senza il rischio che qualcuno venga ustionato.