आधे-तैयार उत्पादों के लिए ओजोन-मुक्त IR क्यों आवश्यक है?
यदि आप सेमीकंडक्टर निर्माण क्षेत्र में काम करते हैं, तो आपको पहले से ही इसके नियम पता होंगे। “लीड-मुक्त” एवं “पर्यावरण-अनुकूल” उत्पादों संबंधी नियम केवल सुझाव नहीं हैं – बल्कि ये कानून ही हैं।
लेकिन समस्या यह है कि पुरानी तकनीकों, जैसे सामान्य IR लैंपों के उपयोग से ओजोन उत्पन्न होता है। चूँकि ऐसे लैंप 185नैनोमीटर से 254नैनोमीटर की आवृत्ति में विकिरण उत्सर्जित करते हैं, इसलिए वे हवा में मौजूद ऑक्सीजन को विषाक्त गैस में बदल देते हैं।
यह बहुत ही समस्याजनक है… ओजोन, संवेदनशील घटकों को नष्ट कर देता है; इसलिए हवा को शुद्ध रखने एवं उपकरणों को सुरक्षित रखने हेतु बहुत अधिक पैसा खर्च करना पड़ता है।
हमने ओजोन को कैसे रोका?
हमने गर्मी बनाए रखते हुए ओजोन को रोकने का तरीका खोजा। हमने क्वार्ट्ज आवरण पर विशेष फिल्टरिंग कोटिंग लगाई। इसे लैंप के लिए “हाई-टेक सनग्लासेस” के रूप में समझें… यह VUV विकिरण को रोक देता है, लेकिन वास्तविक ऊष्मा-तरंगों को आसानी से पार होने देता है।
इस तरह, आपको अभी भी उच्च तापमान प्राप्त होता है, लेकिन रासायनिक समस्याओं से छुटकारा मिल जाता है। चूँकि अब आपको विषाक्त गैसों से निपटने की आवश्यकता नहीं है, इसलिए आप बड़े आकार के ओजोन-निष्कासन उपकरणों का उपयोग नहीं करेंगे… आपके उपकरणों का आकार कम हो जाएगा, एवं जगह भी बच जाएगी… यह तो एक बढ़िया विकल्प है!
तेज गर्मी, कम तनाव
IR क्योरिंग में गर्मी सीधे ही सब्सट्रेट तक पहुँचती है… पूरे ओवन को गर्म करने एवं हवा के गर्म होने का इंतजार करने की आवश्यकता नहीं है… हम उच्च-घनत्व वाले फिलामेंटों का उपयोग करते हैं, इसलिए तापमान तुरंत ही प्राप्त हो जाता है… यह बहुत ही अच्छा है… क्योंकि इससे वेफरों पर कोई नुकसान नहीं होता… कोई विकिरण भी नहीं होता… बस साफ एवं तेज गर्मी ही प्राप्त होती है।
इंजीनियरिंग संबंधी जानकारी
लेकिन यहाँ एक समस्या है… ऐसे ओजोन-मुक्त लैंपों से बहुत अधिक गर्मी उत्पन्न होती है… इसलिए यदि लैंपों को ओवन में बहुत नजदीक रखा जाए, तो समस्याएँ पैदा हो सकती हैं… यदि लैंप अत्यधिक गर्म हो जाए, तो यह समस्याएँ पैदा कर सकता है… इसलिए अपने कूलिंग फैनों एवं हीट सिंकों की जाँच अवश्य करें… यदि हवा का प्रवाह धीमा हो, तो क्वार्ट्ज टूट सकता है, एवं लैंप का जीवनकाल भी कम हो जाएगा… इसलिए अपनी विशेषताओं की जाँच अवश्य करें।
व्यावहारिक उपयोग
चाहे आप लीड-मुक्त सोल्डरिंग कर रहे हों, या फोटोरेजिस्ट को सुखा रहे हों… ऐसे लैंप आपके पुराने हीटरों की जगह आसानी से उपयोग में आ सकते हैं… ये बिजली की बचत करने एवं विषाक्त गैसों को कम करने में मदद करते हैं… इसके अलावा, आप इन्हें अपने मौजूदा PID कंट्रोलरों से जोड़ सकते हैं… ताकि तापमान ठीक वैसा ही रहे, जैसा आवश्यक है… बहुत ही आसान!