फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सुखाने संबंधी प्रक्रियाएँ कोई वैकल्पिक विकल्प नहीं हैं – ये ही उत्पादन की गुणवत्ता एवं अपव्यय के बीच का अंतर हैं। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 2°C का भी अंतर, सीडीओं में बदलाव पैदा कर सकता है, जिससे पूरा उत्पादन नष्ट हो सकता है। हमने ऐसी इन्फ्रारेड लैंपें विकसित की हैं, जिससे ऐसी अनिश्चितताएँ दूर हो जाती हैं।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
ये लैंप तेज एवं नियंत्रित तापीय प्रतिक्रिया हेतु उपयुक्त हैं; इससे बेकिंग सतह पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। ग्राफीन एमिटर, हजारों घंटों तक स्थिर ऊर्जा उत्पन्न करता है – 5,000 घंटों से अधिक समय तक इन लैंपों का उपयोग किया गया है, और इनका आउटपुट 5% से भी कम गिरा है।
ये लैंप क्लास 1–100 के मानकों के अनुरूप हैं; इनसे कोई कण उत्पन्न नहीं होता, एवं तापमान नियंत्रित रहता है। ऊर्जा, वोल्टेज एवं आकार को वर्तमान उपकरणों के अनुरूप समायोजित किया जा सकता है; इससे इन लैंपों को सीधे ही उपयोग में लाया जा सकता है, बिना किसी पुनर्डिज़ाइन की आवश्यकता के।
लिथोग्राफी में इन लैंपों का उपयोग क्यों उपयोगी है?
लिथोग्राफी में, ऐसी प्रक्रियाओं की आवश्यकता होती है, जिसमें घोल तो निकल जाए, लेकिन वस्तु की सतह पर कोई परिवर्तन न हो। हमारे लैंप तेजी से लक्षित तापमान तक पहुँचते हैं, वहाँ स्थिर रहते हैं, एवं ठंडा होने की प्रक्रिया भी नियंत्रित रहती है। इससे हर वेफर पर समान तापमान बना रहता है।
इससे उत्पादन की गुणवत्ता में सुधार होता है, पुनर्कार्य की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं उत्पादन समय भी नियंत्रित रहता है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि सिस्टम केवल आवश्यकता के अनुसार ही गर्म होता है, एवं तापमान भी नियंत्रित रहता है। लंबे समय तक काम करने की क्षमता के कारण, स्पेयर पार्ट्स एवं रखरखाव की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
आपको पहले ही जानने आवश्यक बातें
ये लैंप अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के अनुरूप ही डिज़ाइन किए गए हैं। ये पारंपरिक हैलोजन/क्वार्ट्ज आईआर स्रोतों का एक विकल्प हैं। इन लैंपों को लगाते समय, रिफ्लेक्टर की ज्यामिति एवं ऑप्टिकल पथ को ध्यान में रखना आवश्यक है – यदि फोकल दूरी की जाँच किए बिना ही लैंप बदल दिए जाएँ, तो गर्म क्षेत्र भी बदल जाएगा।
चेंबर की ज्यामिति, कूलेंट प्रवाह एवं अन्य तत्वों को ध्यान में रखकर ही इन लैंपों को लगाना आवश्यक है; इससे कणों की संख्या कम रहेगी, एवं उपकरणों का उपयोग अधिक समय तक हो सकेगा।