300 मिमी वाली लाइनों पर, स्केज़र तब भी काम करता रहता है, भले ही बेकिंग प्रोफ़ाइल में थोड़ा भी बदलाव हो जाए। आधे डिग्री का भी बदलाव, वाइडनेस में बदलाव का कारण बन सकता है, जिससे उत्पादन प्रभावित हो जाता है। कन्वेक्शन ओवens, क्लीनरूम की जगह एवं साइकल टाइम के मामले में समस्याएँ पैदा करते हैं; जबकि हॉट प्लेट्स से ऐसी स्थितियाँ पैदा होती हैं, जिससे उत्पादन की गुणवत्ता प्रभावित हो जाती है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हमने लीनियर इन्फ्रारेड एमिटर को एक महत्वपूर्ण शर्त के आधार पर विकसित किया – वेफर पर तापमान की एकरूपता, न कि केवल औसत तापमान। शॉर्ट-वेव एनआईआर, स्टेबिलाइज्ड क्वार्ट्ज विंडो से गुजरता है; इससे स्पेक्ट्रल आउटपुट, फोटोरेसिस्ट स्टैक द्वारा अवशोषित हो जाता है। इससे सब्सट्रेट पर अत्यधिक तापमान नहीं आता।
परिणाम: एक्टिव बेकिंग ज़ोन में वेफर पर तापमान की एकरूपता ±0.1°C होती है, एवं रैंप-अप प्रक्रिया कुछ ही मिलीसेकंड में हो जाती है। यह एमिटर, क्लास 1–100 क्लीनरूमों में ही काम कर सकता है; क्योंकि इसकी संरचना ऐसी है कि कणों का निर्माण लगभग शून्य ही होता है, एवं गैसों का नियंत्रण भी अच्छी तरह होता है।
उत्पादन में इसका लाभ क्या है?
वास्तविक उत्पादन प्रक्रिया में, यह एमिटर 24/7 काम करता है, बिना किसी अप्रत्याशित रुकावट के। सॉफ्ट बेकिंग एवं हार्ड बेकिंग प्रोफ़ाइल भी लगातार वैसे ही रहते हैं; इससे पुनः मूल्यांकन की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। तापमान की एकरूपता से सीडी में होने वाले बदलाव कम हो जाते हैं, ओवरले भी बेहतर हो जाता है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
ऊर्जा खपत क्यों कम है?
क्योंकि हम केवल लक्षित क्षेत्र को ही गर्म करते हैं, पूरे चेंबर को नहीं। इस एमिटर का जीवनकाल 5,000 घंटों से अधिक होता है, एवं आउटपुट में 5% से भी कम कमी होती है। इससे कम स्पेयर पार्ट्स की आवश्यकता होती है, PM लेबर की लागत भी कम हो जाती है, एवं टूल बदलने के दौरान जोखिम भी कम हो जाता है।
क्या विशेष बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
इस एमिटर के लिए सटीक ऑप्टिकल एलाइनमेंट एवं एक विशेष, नियंत्रित पावर बस आवश्यक है; ताकि स्पेक्ट्रल स्थिरता बनी रहे। यदि एलाइनमेंट सही न हो, तो वेफर पर गर्म बैंड दिखाई देगा।
कम तापमान पर विंडो धुंधली न हो, इसके लिए साफ एवं शुष्क वातावरण आवश्यक है। लिथो ट्रैक कंट्रोलर एवं बेक मॉड्यूल इंटरफ़ेस में इसका एकीकरण आवश्यक है; साथ ही फोटोरेसिस्ट अवशोषण कर्व की जाँच भी आवश्यक है, ताकि एनआईआर पावर डेंसिटी सही रहे।