क्लास 100 क्लीनरूम को हमेशा साफ रखना
यदि आप क्लास 100 वाले वातावरण में सिलिकॉन वेफरों को गर्म कर रहे हैं, तो आपको ऑउटगैसिंग की समस्या का पता ही होगा। थोड़ा सा भी मलबा या VOC पदार्थ होने से पूरा बैच बर्बाद हो जाता है… यह बहुत ही निराशाजनक है।
इसी कारण हमने सामान्य हीटिंग तत्वों का उपयोग बंद कर दिया। इसके बजाय, हम उच्च-शुद्धता वाले सिंथेटिक क्वार्ट्ज IR लैंपों का उपयोग करते हैं।
क्यों क्वार्ट्ज?
दरअसल, धातु-आवरित हीटरों में समय के साथ ऑक्सीकरण हो जाता है… ऐसी स्थिति क्लीनरूम में विनाशकारी होती है। हमारे उपयोग में आने वाला क्वार्ट्ज इतना शुद्ध है कि धातुओं के आयनों को बाहर निकलने से रोकता है।
इसके अलावा, यह एक “गैर-संपर्क” प्रक्रिया है… IR विकिरण सीधे वेफर की सतह पर पड़ता है… कोई संपर्क नहीं, कोई घर्षण नहीं… बस साफ, सीधी ऊर्जा ही।
“शून्य-प्रदूषण” दृष्टिकोण
हमने सभी अनावश्यक चीजों को हटा दिया… कोई चिपकने वाले पदार्थ, कोई सस्ते पॉलिमर… कुछ भी ऐसा नहीं जिससे गैसें निकल सकें। हर एक सील रासायनिक रूप से निष्क्रिय है।
हमने थर्मल एक्सपैंशन के मुद्दे पर भी बहुत मेहनत की… ऐसे ट्यूब तेज़ गति से चलने पर भी नहीं टूटते।
लेकिन एक बात ध्यान में रखें… जब इन्हें उच्च वॉटेज पर चलाया जाता है, तो ये बहुत गर्म हो जाते हैं… अपनी वैक्यूम/एयरफ्लो सिस्टम को इस गर्मी को संभालने में सक्षम रखें… वरना आपका उपकरण ओवरहीट हो जाएगा।
अपनी वर्कफ्लो में इन्हें शामिल करना
हमने इनका आकार छोटा रखा है… ताकि ये आसानी से आपकी मौजूदा प्रोसेसिंग चैंबरों में फिट हो जाएं। ये “ड्रॉप-इन” रिप्लेसमेंट के रूप में ही डिज़ाइन किए गए हैं… ताकि आपको घंटों तक काम रोकने की आवश्यकता ही न पड़े।
और चूँकि हम उच्च-शुद्धता वाली सामग्री का ही उपयोग करते हैं, इसलिए आपको काँच पर कोई धुंधलापन नहीं दिखेगा… जैसा कि सस्ते विकल्पों में होता है। IR विकिरण लंबे समय तक मजबूत ही रहता है।
जब तक आपकी पावर सप्लाई स्थिर एवं शांत रहेगी, तब तक आपको पूरे वेफर पर समान तापमान ही मिलेगा… बस इतना ही।