हवा को गर्म करना बंद करें: MEMS वेफरों को सुखाने का बेहतर तरीका
यदि आपने MEMS निर्माण का काम किया है, तो आपको वेफरों को सुखाने में होने वाली कठिनाइयों का पता होगा। यह एक संतुलन बनाए रखने जैसा ही है… वेफरों को पूरी तरह सूखा एवं बिना किसी अवशेष के रखना आवश्यक है, लेकिन उन्हें अत्यधिक गर्मी से नहीं गर्म किया जा सकता, वरना वेफर खराब हो जाएगा।
ज्यादातर लोग ऐसे वेफरों को सामान्य कन्वेक्शन ओवन में ही रख देते हैं। लेकिन समस्या यह है कि ऐसे ओवन सब कुछ ही गर्म कर देते हैं… हवा, दीवारें, चेसिस… लेकिन वेफर नहीं। यह ऊर्जा का अपव्यय है, एवं ऐसे ओवनों की देखभाल करना भी बहुत मुश्किल है। ऐसे गर्म उपकरणों को छूने से त्वचा जल सकती है।
इसीलिए हमने शॉर्ट-वेव IR लैंपों का उपयोग करना शुरू किया।
यह कैसे काम करता है?
कन्वेक्शन ओवन की तुलना में, IR लैंप वेफर को सीधे गर्म करते हैं। ऐसे में ऊर्जा बर्बाद नहीं होती। परिणामस्वरूप, वेफर को आवश्यक गर्मी मिल जाती है, लेकिन उपकरण की बाहरी सतह ठंडी ही रहती है।
सही विनिर्देशों का चयन
हम आमतौर पर उच्च-तीव्रता वाले क्वार्ट्ज हैलोजन ट्यूबों का ही उपयोग करते हैं। क्वार्ट्ज का उपयोग इसलिए किया जाता है, क्योंकि यह शॉर्ट-वेव विकिरण को बिना ऊर्जा अवशोषित किए ही आगे भेज देता है। इससे वेफर को जल्दी ही सुखाया जा सकता है।
लेकिन यहाँ सबसे महत्वपूर्ण बात है – रिफ्लेक्टरों का सही उपयोग। यदि रिफ्लेक्टरों की स्थिति सही न हो, तो वेफर नहीं, बल्कि ओवन की दीवारें ही गर्म हो जाएंगी। इससे वेफर पर जलने के निशान बन जाते हैं।
स्थापना की वास्तविकता
यह इतना आसान भी नहीं है। उच्च-वोल्टेज वाले IR लैंपों को चलाने हेतु बहुत अधिक ऊर्जा की आवश्यकता होती है। यदि आपका पावर सप्लाई इस ऊर्जा को सहन न कर सके, तो समस्या हो जाएगी।
इन लैंपों को संभालते समय भी सावधान रहना आवश्यक है… क्योंकि ये बहुत ही नाजुक होते हैं। थोड़ी सी लापरवाही से ही लैंप टूट सकता है।
जीवन को आसान बनाने हेतु, हम मानक कनेक्टरों का ही उपयोग करने की सलाह देते हैं… ऐसा करने से लैंपों को आसानी से ही बदला जा सकता है। लेकिन ध्यान रखें कि ऊर्जा की मात्रा भी सही होनी चाहिए… अन्यथा लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा। स्पीड एवं दीर्घायु के बीच संतुलन बनाना ही महत्वपूर्ण है।