Dans l’usine de fabrication, on trouve une galette en SiC de 150 mm de diamètre, placée dans la cellule de lithographie, prête pour le traitement par résistant photochimique. Une déviation de température de quelques degrés seulement peut perturber le contrôle des dimensions critiques, ce qui entraîne des coûts importants. Par conséquent, la lampe chauffante ne doit pas être simplement une source de chaleur : elle doit fonctionner comme un instrument thermique fiable et reproductible.
Ce qui est important au niveau technique Nous avons conçu cette lampe chauffante pour les galettes en SiC en utilisant des émetteurs à infrarouges à ondes courtes, enfermés dans un boîtier en quartz. Cela permet une réponse rapide et une sortie de chaleur stable. On obtient ainsi une uniformité de température de ±0,1°C dans toute la zone de traitement, avec une reproductibilité de ±0,5°C d’un lot à l’autre. La densité de puissance est adaptée aux besoins du traitement du résistant photochimique, et le profil thermique reste stable même après 5 000 heures d’utilisation, avec moins de 5% de perte de performance. Le boîtier est compatible avec les environnements propres de classe 1–100, avec des joints étanches qui empêchent la formation de particules pendant le fonctionnement.
Pourquoi c’est idéal pour le traitement du SiC Le traitement des galettes en SiC exige une précision absolue en termes de contrôle thermique, car le coût par galette est élevé. Cette lampe offre la précision nécessaire pour maintenir les profils de traitement du résistant photochimique sans excès ni déficit de chaleur, ce qui réduit les pertes liées aux déchets et aux réparations. Le temps de démarrage rapide diminue le temps de cycle, tandis que l’émission stable permet de réduire la consommation d’énergie. Ce dispositif est conçu pour être compatible avec les normes internationales des équipements de semi-conducteurs, ce qui permet de l’intégrer sans avoir à requalifier tout l’équipement.
Quelques conseils pratiques L’installation se fait en s’assurant que l’interface de connexion de l’équipement soit compatible avec celle de la lampe, ainsi qu’en vérifiant la tension requise. Un câblage incorrect peut affecter l’uniformité de la température. La lampe fonctionne avec les stations de traitement standards, mais il est nécessaire d’ajuster la géométrie du réflecteur en fonction de la taille de la galette. Il est préférable de procéder à une calibration rapide après l’installation, afin de pouvoir ajuster les paramètres de traitement en fonction de vos processus.