Comment maintenir votre salle propre de classe 100 vraiment propre ?
Si vous chauffez des wafer en silicium dans un environnement de classe 100, vous connaissez bien le problème lié à l’émission de gaz. Un seul fragment de matériau ou une particule volatile suffit pour que toute la série de produits produite soit détruite. C’est frustrant.
C’est pourquoi nous avons cessé d’utiliser des éléments chauffants standards. À la place, nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge en quartz synthétique de haute pureté.
Pourquoi le quartz ?
Les élément chauffants en métal ont tendance à s’oxyder ou à se détacher avec le temps. C’est une catastrophe dans une salle propre. Notre quartz fusionné est suffisamment pur pour empêcher les ions métalliques de migrer. De plus, c’est un processus sans contact : les rayons infrarouges atteignent directement la surface du wafer. Pas de contact physique, pas d’usure. C’est simplement de l’énergie pure et directe.
L’approche « zéro pollution »
Nous avons éliminé tout ce qui pourrait causer des problèmes : pas d’adhésifs, pas de polymères bon marché… Rien qui puisse émettre des gaz ou des particules. Chaque joint est chimiquement inerte.
Nous avons également pris soin de résoudre le problème de l’expansion thermique. Ces tubes ne se brisent pas même lorsqu’ils sont soumis à des cycles rapides.
Un conseil : lorsque ces lampes fonctionnent à leur puissance maximale, elles deviennent très chaudes. Assurez-vous donc que votre système de ventilation puisse gérer cette chaleur, sinon vos équipements risquent d’être endommagés.
Intégration dans votre processus de production
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles s’intègrent facilement dans vos chambres de traitement existantes. Elles peuvent être remplacées sans difficulté, ce qui vous évite d’arrêter votre production pendant des heures.
Et comme nous utilisons des matériaux de haute pureté, vous n’aurez pas ce problème de « brouillard » sur la surface du verre, qui survient souvent avec des produits moins chers. La transmission des rayons infrarouges reste constante sur le long terme.
Tant que votre alimentation électrique est stable et silencieuse, vous obtiendrez un profil thermique parfaitement uniforme sur tout le wafer. C’est aussi simple que ça.