دیگر اجازه ندهید انرژی گرمایی در کارخانههای تولید نیمههادی هدر برود!
اکثر عناصر گرمایشی مانند لامپهای روشنایی عمل میکنند؛ یعنی انرژی را در تمام جهات پراکنده میکنند. در کارخانههای تولید نیمههادی، این موضوع مشکلساز است. وقتی سعی میکنیم یک ویفر را گرم کنیم، در واقع قسمت داخلی دستگاه نیز گرم میشود؛ در نتیجه انرژی به هدر میرود. بدتر از آن، دستگاه به یک رادیاتور بزرگ تبدیل میشود که میتواند به اپراتورها آسیب برساند.
ما برای حل این مشکل، از فناوری مادون قرمز جهتدار استفاده میکنیم.
نحوه کارکرد آن:
لامپهای معمولی، انرژی گرمایی را در همه جا پراکنده میکنند. ما از ترکیبی از بازتابندهها و منابع انتشار انرژی جهتدار استفاده میکنیم تا انرژی مادون قرمز را مستقیماً به سمت ویفر هدایت کنیم.
با این روش، بدنه دستگاه تمام انرژی اضافی را جذب نمیکند؛ در نتیجه، سطح خارجی دستگاه همچنان خنک باقی میماند، حتی زمانی که داخل دستگاه بسیار گرم باشد.
تنظیم دمای مناسب:
نمیتوانید فقط یک لامپ با توان بالا را در دستگاه قرار دهید و امیدوار باشید که همه چیز خوب پیش برود.
اگر توان لامپ با توان جذب شونده توسط ماده مورد استفاده همخوانی نداشته باشد، انرژی فقط از روی ویفر بازتاب شده و به دیوارههای دستگاه برخورد خواهد کرد. به همین دلیل، ما لامپهایی با طول موج مشخص را انتخاب میکنیم؛ تا ویفر بتواند انرژی گرمایی را جذب کند.
علاوه بر این، سیستم تهویه مطبوع دستگاه نیز از این روش سود خواهد برد؛ چرا که دیگر نیازی نیست با گرمای اضافی ناشی از دستگاه مبارزه کنیم.
معایب و راهحلها:
باید بدانیم که گرمایش جهتدار، یک روش جادویی نیست.
وقتی پرتو انرژی را در یک نقطه مشخص متمرکز میکنیم، در واقع با تراکم انرژی گرمایی بالایی روبرو هستیم. اگر موقعیت لامپ حتی چند میلیمتر اشتباه باشد، نقاط گرمی روی ویفر ایجاد خواهد شد. بنابراین، محل نصب لامپ باید کاملاً دقیق باشد؛ هیچ اختلافی نباید وجود داشته باشد.
اگر مطمئن نیستید که موقعیت لامپ درست است، از دوربین حرارتی برای بررسی دمای دیوارههای دستگاه استفاده کنید. اگر دمای سطح دستگاه به ۴۵ درجه سانتیگراد یا بالاتر رسید، یعنی انرژی از دستگاه خارج میشود. استفاده از فناوری مادون قرمز جهتدار، دمای دستگاه را در میزان مناسب نگه میدارد، بدون اینکه خطر سوختن اپراتورها وجود داشته باشد.