در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، سیستم برنامهریزی، صرفاً به این دلیل که پروفایل حرارتی مورد استفاده تغییر کرده باشد، کار را متوقف نمیکند. حتی تغییر نیم درجهای در دمای حرارت، میتواند منجر به اختلافاتی در عرض لبههای ویفر شود؛ این اختلافات در نهایت منجر به از دست رفتن محصول میشود. فرهای همگنسازنده نیز مشکلاتی در زمینه فضای مورد نیاز برای تولید و زمان لازم برای انجام کار ایجاد میکنند؛ در حالی که صفحات گرم، باعث ایجاد تفاوتهای دمایی در سطح ویفر میشوند؛ این تفاوتها باعث میشود که نرخ تولید کاهش یابد.
آنچه واقعاً اهمیت دارد:
ما این فرستنده مادون قرمز را بر اساس یک محدودیت مهم طراحی کردهایم: یکنواختی دما در سراسر ویفر، نه فقط میانگین دما. امواج کوتاه مادون قرمز از طریق پنجرههای کوارتزی منتقل میشوند؛ این پنجرهها به گونهای تنظیم شدهاند که تابش مربوطه به طور اختصاصی توسط لایههای فوتورزیست جذب شود. این کار باعث میشود که دمای ویفر در سطح مورد نظر باقی بماند.
نتیجه این کار، یکنواختی دما در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین، زمان لازم برای افزایش دما، در حد چند میلیثانیه است. این فرستنده میتواند در اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ نیز کار کند؛ زیرا ساختار آن در برابر ذرات موجود در هوا مقاوم است؛ همچنین، انتشار گازها نیز کنترل شده است تا لایههای فوتورزیست در امان بمانند.
چرا این روش در تولید مؤثر است؟
در محیط تولید، این فرستنده ۲۴ ساعته و بدون هیچ وقفهای کار میکند. پروفایلهای حرارتی مربوط به فرآیندهای حرارتی، قابل تکرار هستند؛ بنابراین نیازی به بازبینی مجدد آنها نیست. یکنواختی دما، باعث کاهش تفاوتهای دمایی در سطح ویفر میشود؛ همچنین، کارهای تکراری نیز کاهش مییابد.
مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا تنها ناحیه مورد نظر گرم میشود، نه کل محفظه. عمر این فرستنده بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است؛ در این مدت، کاهش توان خروجی آن کمتر از ۵٪ است؛ بنابراین نیازی به استفاده از قطعات یدکی کمتری نیست، هزینههای نگهداری کاهش مییابد، و خطرات ناشی از تعویض تجهیزات نیز کمتر میشود.
نکاتی که باید در نظر بگیرید:
این فرستنده نیاز به تنظیمات دقیق اپتیکی دارد؛ همچنین، نیاز به منبع تغذیه مناسب برای حفظ پایداری طیفی دارد. اگر تنظیمات اپتیکی صحیح نباشد، تفاوتهای دمایی در سطح ویفر ایجاد خواهد شد. همچنین، برای جلوگیری از کدر شدن پنجرهها در دماهای پایین، نیاز به فضای تمیز و خشک وجود دارد. همچنین، باید این فرستنده را با کنترلکنندههای مربوطه ادغام کرد؛ همچنین، باید منحنی جذب فوتورزیست را بررسی کرد تا توان مادون قرمز مناسبی تعیین شود.