جلوگیری از مشکلات ناشی از گرمای بیش از حد در تجهیزات تولید نیمههادی
اکثر عناصر گرمایشی استاندارد، کمی نامنظم هستند؛ آنها گرما را به همه جهات پخش میکنند. در کارخانههای تولید نیمههادی، این موضوع یک وضعیت فاجعهبار است.
وقتی گرما به همه جا میرود، دیوارههای داخلی تجهیزات گرانقیمت، گرما را در خود جذب میکنند. در نتیجه، دیوارهها بسیار داغ میشوند؛ این امر باعث هدر رفتن انرژی زیادی میشود و همچنین خطرات ایمنی برای افرادی که در نزدیکی تجهیزات قرار دارند، ایجاد میکند.
روشی که ما برای حل این مشکل استفاده میکنیم:
ما از لامپهای مادون قرمز کوتاهامواج استفاده میکنیم؛ اما در این لامپها، یک سطح بازتابنده نیز وجود دارد. به جای اینکه گرما وارد بدنه تجهیزات شود، آن را به سمت جلو بازتاب میدهیم. این روش مانند استفاده از یک فلاش در عوض لامپ معمولی است؛ تمام انرژی حرارتی دقیقاً به جای مناسب خود، یعنی روی ویفر یا سطح مورد نظر، میرود.
بدنه تجهیزات دیگر مانند یک اسفنج برای جذب گرما عمل نمیکند؛ در نتیجه، عملکرد تجهیزات بهتر میشود.
جزئیات فنی:
برای دستیابی به نتیجه بهتر، باید به توان لامپ و شکل بازتابنده توجه کرد. ما از لامپهای با چگالی بالا استفاده میکنیم؛ زیرا فرآیندهای تولید نیاز به سرعت زیادی دارند. برای جلوگیری از تغییر شکل تجهیزات تحت فشار، از غلافهای کوارتزی استفاده میکنیم.
اما باید مراقب جریان حرارتی نیز باشیم؛ اگر توان زیادی را در فضای کوچکی وارد کنیم، دمای تجهیزات از حد مجاز فراتر خواهد رفت. همچنین، کنترلکنندههای PID باید برای سرعت عمل لامپهای مادون قرمز تنظیم شوند؛ در غیر این صورت، دمای تجهیزات نوسان خواهد داشت.
حفظ ایمنی و سادگی در استفاده:
نکته خوب این است که سطح خارجی تجهیزات کاملاً خنک باقی میماند؛ بنابراین، اپراتورها میتوانند بدون نگرانی از سوختگی، مواد را در تجهیزات قرار دهند یا تعمیرات لازم را انجام دهند.
اگر قصد بهروزرسانی تجهیزات خود را دارید، این لامپها میتوانند جایگزین مناسبی برای لامپهای قدیمی و غیرمنظم باشند. فقط مطمئن شوید که سیستم سیمکشی شما بتواند جریان لازم را تحمل کند.
یک نکته دیگر: پس از وصل کردن سیمها، موقعیت بازتابنده را بررسی کنید؛ حتی کمی تغییر در موقعیت لامپ میتواند باعث تغییر منطقه گرمایی شود؛ این امر منجر به عدم یکنواختی در فرآیند تولید میشود. تنظیمات کوچک، تفاوتهای بزرگی ایجاد میکنند.