Udržení chladu v polovodičovém zařízení (zatímco se uvnitř zvyšuje teplota)
Jedním z běžných problémů v polovodičových zařízeních je to, že uvnitř potřebujete vysokou teplotu, ale opravdu nechcete, aby vnější část zařízení byla tak horká, jako varná deska.
Když spoléháte na konvekci nebo obecné ohřevání, teplo prostě uniká. Proniká do korpusu zařízení, čímž se vnější stěny stanou nebezpečím pro každého, kdo s tím zařízením pracuje. Navíc plýtváte spoustou energie na ohřev kovových částí, které vlastně nemusí být horké.
Trik spočívá v použití směrovaného ohřevu.
K vyřešení tohoto problému používáme lampy s krátkovlnným infračerveným zářením. Představte si to jako baterku místo prostorového topení. Infračervené záření putuje v přímé linii, takže ohřívá pouze to, co skutečně zasáhne. Pomocí úhlu natočení lamp a reflektorů můžeme směrovat teplo přímo na wafer nebo součástky. Zbytek zařízení zůstává mimo dosah tepla.
Ale nemůžete prostě tam umístit lampu a být spokojeni. Musíte správně nastavit vlnovou délku a bod ohniskové vzdálenosti. Používáme krátkovlnné infračervené záření, protože lépe proniká vzduchem a dostane se hluboko dovnitř. Cílem je vytvořit úzkou, koncentrovanou zónu tepla.
Pokud je váš reflektor o několik centimetrů mimo správné polohy, nebo je vaše lampa příliš velká pro daný prostor, stejně dojde k „úniku tepla“. To je otrava. Proto vždy doporučujeme nejprve prostudovat termický profil vaší komory, než rozhodnete, kam umístit lampy.
Výsledky stojí za to.
Za prvé, vaši operátoři si nehrozí, že si omylem spálí ruce o horký kovový povrch. Navíc vám systém HVAC v čisté místnosti poděkuje – neuvolňujete do místnosti zbytečné teplo, což pomáhá udržet celé prostředí stabilní.
Samozřejmě existují i nějaké kompromisy. Lampy s infračerveným zářením nevydrží věčně – vyhoří rychleji než běžné rezistorové topiče. Potřebujete jednoduchý plán údržby, abyste je včas vyměnili. A protože krátkovlnné infračervené záření je velmi intenzivní, musíte použít vhodné ochranné prostředky. Rozhodně nechcete, aby někdo během údržby hleděl přímo na lampy.