কেন অক্সিজেন-মুক্ত IR কিউরিং শুধুমাত্র সেমি-ফ্যাব উৎপাদনের জন্যই উপযুক্ত?
যদি আপনি সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন কেন্দ্রে কাজ করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই এই বিষয়টি জানেন। “লিড-ফ্রি” ও “ইকো-ফ্রেন্ডলি” নিয়মগুলো কেবলমাত্র পরামর্শ নয়—এগুলোই আইন।
কিন্তু সমস্যা হলো: স্ট্যান্ডার্ড IR ল্যাম্পগুলোর মতো পুরানো ধরনের হিটিং পদ্ধতিগুলো অক্সিজেন উৎপন্ন করে। কারণ এগুলো ১৮৫ন্যানোমিটার থেকে ২৫৪ন্যানোমিটার ব্যান্ডে রেডিয়েশন নির্গত করে; ফলে বাতাসের অক্সিজেনটি ক্ষতিকারক গ্যাসে পরিণত হয়।
এটা খুবই সমস্যাজনক। অক্সিজেন আপনার সংবেদনশীল যন্ত্রাংশগুলোকে ক্ষতিগ্রস্ত করে; আর বাতাসকে ব্যবহারযোগ্য রাখতে এবং যন্ত্রাংশগুলোকে অক্ষত রাখতে আপনাকে অনেক খরচ করতে হয়।
আমরা কীভাবে অক্সিজেন নির্মূল করি?
আমরা এমন একটি উপায় খুঁজে পেয়েছি, যাতে তাপ হারানো না হয়।
আমরা কোয়ার্টজ কভারে একটি বিশেষ ফিল্টারিং কোটিং লাগিয়েছি। এটাকে ল্যাম্পের জন্য একটি “হাই-টেক সানগ্লাস” হিসেবে ভাবতে পারেন। এটা VUV রশ্মিগুলোকে আটকে দেয়—যা অক্সিজেন উৎপন্ন করে—কিন্তু কিউরিং-এর জন্য প্রয়োজনীয় রশ্মিগুলোকে যেতে দেয়।
আপনি এখনও সেই তীব্র তাপ পাবেন, কিন্তু রাসায়নিক সমস্যা থাকবে না। আর যেহেতু আপনাকে ক্ষতিকারক গ্যাসের সমস্যা মোকাবিলা করতে হবে না, তাই আপনি বড় আকারের অক্সিজেন নির্মূল ব্যবস্থা ব্যবহার করতে হবে না। আপনার যন্ত্রাংশগুলোর আকার কমে যাবে; আপনার জায়গাও বাঁচবে। এটা সত্যিই একটি লাভজনক ব্যাপার।
দ্রুত তাপ, কম চাপ
IR কিউরিং হলো সরাসরি তাপ সরবরাহের পদ্ধতি।
পুরো ওভেন চেম্বারকে উত্তপ্ত করে বাতাস উষ্ণ হওয়ার অপেক্ষা করার পরিবর্তে, এই ল্যাম্পগুলো সরাসরি সাবস্ট্রেটকে লক্ষ্য করে। আমরা উচ্চ-ঘনত্বের ফিলামেন্ট ব্যবহার করি; ফলে তাপ উৎপন্ন হওয়া খুব দ্রুত হয়।
আপনি কয়েক সেকেন্ডের মধ্যেই কিউরিং-এর জন্য প্রয়োজনীয় তাপমাত্রা পেয়ে যাবেন। এটা খুবই গুরুত্বপূর্ণ, কারণ এতে ওয়েফারের “থার্মাল বাজেট” কমে যায়। কোনো বিকৃতি বা অন্যান্য সমস্যা হয় না। শুধুমাত্র পরিষ্কার, দ্রুত তাপ।
ইঞ্জিনিয়ারিং সংক্রান্ত কিছু বিষয়
তবে এখানে একটি সমস্যা রয়েছে।
অক্সিজেন-মুক্ত ল্যাম্পগুলো খুবই শক্তিশালী। কারণ তাপ খুবই তীব্র হওয়ায়, যদি ওভেনে ল্যাম্পগুলোকে খুব কাছাকাছি রাখা হয়, তাহলে সমস্যা হতে পারে। যদি ল্যাম্পটি অতিরিক্ত তাপ উৎপন্ন করে, তাহলে সমস্যা হবে।
নিশ্চিত হোন যে আপনার কুলিং ফ্যান ও হিট সিঙ্কগুলো ঠিকমতো কাজ করছে। যদি বায়ুপ্রবাহ ধীর হয়, তাহলে কোয়ার্টজটি ভেঙে যেতে পারে এবং ল্যাম্পটির জীবনকালও কমে যেতে পারে। এখানে আপনার স্পেসিফিকেশনগুলো ভালোভাবে যাচাই করা উচিত।
কীভাবে এটা ব্যবহার করা হয়?
আপনি যদি লিড-ফ্রি সোল্ডারিং বা ফটোরেজিস্ট উৎপাদন করেন, তাহলে এই ল্যাম্পগুলো সরাসরি আপনার পুরানো হিটারগুলোর জায়গায় ব্যবহার করা যেতে পারে।
এগুলো অপচয়িত বিদ্যুৎ কমানো এবং বিষাক্ত গ্যাস নির্মূল করার মাধ্যমে আপনাকে গ্রীন স্ট্যান্ডার্ড অনুসরণ করতে সাহায্য করে। আর আপনি এগুলোকে আপনার বর্তমান PID কন্ট্রোলারগুলোর সাথে সংযুক্ত করে তাপমাত্রাকে নিয়ন্ত্রণ করতে পারেন। খুবই সহজ।