ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়াগুলো কোনো ঐচ্ছিক বিষয় নয়; বরং এগুলোই হলো উৎপাদন সফল হওয়া বা অসফল হওয়ার মধ্যকার পার্থক্য। সফ্ট বেক বা হার্ড বেক প্রক্রিয়ায় ২°C এর মতো ছোট পরিবর্তনও ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রাকে পরিবর্তিত করে দিতে পারে; ফলে ওয়েফারগুলো নষ্ট হয়ে যেতে পারে। আমরা গ্রাফিন প্রক্রিয়াকরণের জন্য ইনফ্রারেড ল্যাম্প তৈরি করেছি; যাতে এই ধরনের অনিশ্চয়তাগুলো দূর হয়।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এই ল্যাম্পগুলো দ্রুত ও নিয়ন্ত্রিতভাবে তাপ সরবরাহ করে; ফলে বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারগুলোর তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। গ্রাফিন ইমিটারগুলো হাজার হাজার ঘণ্টা ধরে স্থিতিশীল অবস্থায় থাকে; ৫,০০০+ ঘণ্টা ধরে এগুলো ব্যবহার করা হয়েছে, এবং আউটপুটে ৫% এরও কম হ্রাস হয়েছে।
এগুলো ক্লাস ১–১০০ �มาตรฐาน অনুযায়ী তৈরি হয়েছে; এগুলো থেকে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। এছাড়া, এগুলো নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখে। পাওয়ার, ভোল্টেজ ও আকারগুলো ইচ্ছামতো সামঞ্জস্য করা যায়; ফলে এগুলো সরাসরি ব্যবহার করা যায়, পুনর্নকশা করার দরকার নেই।
লিথোগ্রাফিতে এগুলো কেন কার্যকর?
লিথোগ্রাফিতে সলভেন্টগুলোকে দ্রুত অপসারণ করতে হয়; কিন্তু ওয়েফারগুলো নষ্ট হওয়া উচিত নয়। আমাদের ল্যাম্পগুলো দ্রুত নির্দিষ্ট তাপমাত্রায় পৌঁছায়, সেখানে স্থিতিশীল থাকে এবং ধীরে ধীরে ঠান্ডা হয়। ফলে প্রতিটি ওয়েফার একই তাপমাত্রা পায়।
এর ফলে ওভারলে অক্যুরাসি ভালো হয়, পুনর্কাজের প্রয়োজন কমে যায়, এবং প্রক্রিয়ার সময়ও কমে যায়। শক্তি সাশ্রয় হয়, কারণ সিস্টেমটি প্রয়োজন অনুযায়ী তাপ সরবরাহ করে এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে। ইমিটারগুলোর দীর্ঘ জীবনকালের কারণে স্পেয়ার পার্টস ও রক্ষণাবেক্ষণের খরচও কমে যায়।
আপনাকে আগে থেকেই জানা উচিত…
এই ল্যাম্পগুলো আন্তর্জাতিক সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম মানদণ্ড অনুযায়ী তৈরি হয়েছে। এগুলো হ্যালোজেন/কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড সোর্সগুলোর বিকল্প হিসেবে ব্যবহার করা যায়। ইনস্টলেশনের সময় রিফ্লেক্টরের জ্যামিতি ও অপটিক্যাল পথ ঠিক রাখা দরকার। যদি ফোকাল দূরত্ব না চেক করে ল্যাম্প পরিবর্তন করা হয়, তাহলে তাপীয় অঞ্চলটি পরিবর্তিত হয়ে যাবে।
চেম্বারের জ্যামিতি, কুল্যান্ট ফ্লো ও ইন্টারলকগুলো বিবেচনা করেই ল্যাম্পগুলো ইনস্টল করা উচিত। এতে কণার পরিমাণ কমে যাবে এবং সিস্টেমটি দীর্ঘক্ষণ কাজ করতে পারবে।