ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমকে সত্যিই পরিষ্কার রাখা
যদি আপনি ক্লাস ১০০ এর পরিবেশে সিলিকন ওয়েফারগুলো উত্তপ্ত করেন, তাহলে আপনি নিশ্চয়ই গ্যাস নির্গমনের সমস্যাটি জানেন। একটি ছোট্ট কণা বা VOC উপাদানও আপনার সমস্ত পণ্যকে অকেজো করে দিতে পারে। এটা খুবই হতাশাজনক।
এই কারণেই আমরা সাধারণ হিটিং এলিমেন্টগুলো ব্যবহার করা বন্ধ করেছি। বরং আমরা উচ্চ-পরিশোধিত সিন্থেটিক কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি।
কেন কোয়ার্টজ?
মেটাল-আবৃত হিটারগুলো সময়ের সাথে অক্সিডাইজ হয়ে যায়। এটা ক্লিনরুমে বিপর্যয়ের কারণ হতে পারে। আমাদের ব্যবহৃত কোয়ার্টজগুলো এতটাই বিশুদ্ধ যে ধাতব আয়নগুলো ভিতরে প্রবেশ করতে পারে না।
এছাড়া, এটা কোনো সংস্পর্শহীন প্রক্রিয়া। IR বিকিরণটি সরাসরি ওয়েফারের পৃষ্ঠে পড়ে। কোনো সংস্পর্শ বা ঘর্ষণ নেই; কোনো ধরনের ভৌত ক্ষয়ও নেই। এটা সম্পূর্ণরূপে নির্মল ও সরাসরি শক্তি।
“শূন্য-দূষণ” পদ্ধতি
আমরা সব ধরনের অপ্রয়োজনীয় উপাদানগুলো সরিয়ে দিয়েছি। কোনো আঠা, কোনো সস্তা পলিমার—কিছুই নেই যা গ্যাস নির্গমন করতে বা কণা নিঃসরণ করতে পারে। প্রতিটি সিলই রাসায়নিকভাবে নির্জীব।
আমরা থার্মাল এক্সপ্যানশন সংক্রান্ত বিষয়গুলোও খুব মনোযোগ দিয়ে বিবেচনা করেছি। দ্রুত চালানো হলেও এই টিউবগুলো ভেঙে যায় না।
তবে একটি বিষয় মনে রাখবেন: যখন এগুলোকে সর্বোচ্চ ওয়াটেজে চালানো হয়, তখন এগুলো খুবই গরম হয়ে যায়। তাই নিশ্চিত হয়ে নিন যে আপনার ভ্যাকুয়াম বা এয়ারফ্লো সিস্টেমটি এই তাপ সামলাতে পারবে; নইলে আপনার যন্ত্রটি অতিরিক্ত তাপে ক্ষতিগ্রস্ত হবে।
আপনার ওয়ার্কফ্লোতে এগুলো ব্যবহার করা
আমরা এগুলোর আকার ছোট রেখেছি, যাতে এগুলো সহজেই আপনার বর্তমান প্রক্রিয়াকরণ চেম্বারে বসানো যায়। এগুলো ড্রপ-ইন রিপ্লেসমেন্ট হিসেবে ডিজাইন করা হয়েছে; তাই আপনাকে ঘণ্টার পর ঘণ্টা ধরে কোনো সমস্যার মোকাবিলা করতে হবে না।
আর যেহেতু আমরা উচ্চ-পরিশোধিত উপাদান ব্যবহার করি, তাই সস্তা উপাদানগুলোর ক্ষেত্রে যে ধরনের “ক্লাউডিং” দেখা যায়, সেটা এখানে দেখা যাবে না। IR বিকিরণটি দীর্ঘসময় ধরে স্থিতিশীল থাকে।
যতক্ষণ আপনার পাওয়ার সাপ্লাই স্থিতিশীল ও নির্বিঘ্ন থাকবে, আপনি পুরো ওয়েফারে সুস্থিতিশীল তাপ পাবেন। এটাই সবচেয়ে সহজ উপায়।