http://ir-heater-star.com/zh/tags/%E6%AD%A3%E9%9D%A2/ Recent content in 正面 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo zh Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800 http://ir-heater-star.com/zh/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800 http://ir-heater-star.com/zh/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="FOUP 前端开口式统一型托盘 干燥机"></p> <p>在光刻车间里，FOUP仍然带有上次清洗后残留的薄层水分。如果软烘烤过程的温度控制不准确，那么光阻层的厚度就会发生变化，从而在曝光开始之前就影响到关键尺寸的控制精度。因此，需要一种能够有效去除水分并保持温度稳定性的FOUP干燥装置——这样才能避免出现不确定因素。</p>