光学晶圆加工加热器

线边上，那片300mm晶圆正等待软烤工序——该步骤锁定光刻胶的轮廓。温度漂移仅2°C就足以导致关键尺寸失控，整批晶圆报废。我们设计的光学晶圆处理加热器，旨在彻底避免这种情况发生。 以下是设备核心的关键点。 该装置依靠石英增强腔体内的短波红外（SWIR）发射器，实现晶圆表面±0.1°C的热均匀性。这...