Ống đèn sưởi quartz sóng trung

Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800

Trên sàn fab, việc nướng photoresist không phải là một bước khởi động. Nó là người canh gác cho việc kiểm soát độ rộng đường. Để một sự trôi 2°C xuất hiện trên wafer, và các kích thước quan trọng của bạn sẽ bị thay đổi. Các ống gia nhiệt thạch anh sóng trung được thiết kế để ngăn chặn sự trôi đó trước khi nó bắt đầu.

Những điều quan trọng, về mặt kỹ thuật

Thạch anh sóng trung phát ra trong một dải tần mà kết hợp một cách sạch sẽ vào photoresist và các bộ phim polymer, vì vậy bạn đang làm nóng bộ phim - chứ không phải là các bức tường buồng. Lợi ích là độ đồng đều nhiệt dưới một milimét với khả năng lặp lại mà bạn có thể tin cậy. Trong sản xuất, điều này tương đương với ±0.1°C trên wafer tại bề mặt nướng, và các điểm thiết lập giữ nguyên lot sau lot.

Vừa Đủ on Five-Star Infrared Heating Systems

Ống đèn sưởi quartz sóng trung

Những điều quan trọng, về mặt kỹ thuật