Hãy ngừng lãng phí năng lượng trong các thiết bị sưởi ấm wafer
Trong công nghệ bán dẫn, việc lãng phí năng lượng không chỉ gây tốn kém mà còn là dấu hiệu của một thiết kế kém chất lượng. Khi bạn sưởi ấm bề mặt wafer, bạn không chỉ muốn tạo ra nhiều nhiệt hơn thôi; bạn cần đảm bảo rằng năng lượng được sử dụng một cách hiệu quả, tức là nó phải tập trung vào đúng vị trí cần thiết.
Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng. Chúng giúp đảm bảo rằng mọi watt năng lượng từ bộ phận sưởi ấm đều được chiếu trực tiếp vào vị trí cần thiết.
Tại sao lại chọn vàng?
Các tấm phản xạ thông thường gây ra hiện tượng lan truyền năng lượng hồng ngoại khắp mọi nơi. Vàng thì khác: nó có hệ số phản xạ cao ở toàn bộ dải sóng hồng ngoại. Nói cách khác, vàng không hấp thụ nhiệt, mà thay vào đó, nó phản chiếu năng lượng trở lại wafer. Nhờ vậy, nhiệt độ được kiểm soát tốt hơn. Điều tuyệt vời nhất là bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, mà không cần tăng công suất nguồn điện.
Vấn đề liên quan đến dây điện
Ngoài ra, còn có vấn đề liên quan đến dây điện. Chúng tôi sử dụng dây điện được cách điện bằng Teflon, vì thực sự không có vật liệu nào khác có thể chịu được nhiệt độ cao như vậy. Những bộ phận sưởi ấm này hoạt động trong môi trường có nhiệt độ cực cao. Nếu sử dụng dây PVC hay silicon, chúng sẽ bị nóng chảy hoặc giải phóng khí độc hại, và điều cuối cùng bạn muốn chính là sự ô nhiễm trong phòng sạch. Teflon thì vẫn giữ được tính trơ hóa học và có thể chịu được nhiệt độ cao. Nó giúp duy trì độ ổn định của các kết nối điện, ngay cả khi tấm phản xạ hoạt động ở mức tối đa.
Những điều cần lưu ý
Tuy nhiên, vẫn còn một số vấn đề cần lưu ý. Khi tập trung nhiệt độ cao như vậy, sẽ tạo ra sự chênh lệch nhiệt độ lớn. Nếu wafer không được đặt ở vị trí chính xác – ngay cả vài milimét thôi – thì sẽ xuất hiện những điểm nóng. Đây là một vấn đề đòi hỏi sự chính xác cao. Bạn cần phải đảm bảo rằng vị trí đặt bóng đèn được kiểm soát chính xác. Đồng thời, quạt làm mát cũng cần phải mạnh mẽ đủ để xử lý lượng nhiệt sinh ra ở các vị trí xung quanh tấm phản xạ.
Cuối cùng, mục tiêu của chúng ta là nâng cao nhiệt độ bề mặt wafer, đồng thời giảm mức tiêu thụ năng lượng. Tất cả đều nhằm mục đích tập trung năng lượng một cách hiệu quả. Bạn không cần thêm bóng đèn; bạn chỉ cần sử dụng những bóng đèn hiện có một cách khôn ngoan hơn thôi.