http://ir-heater-star.com/uk/tags/sic/ Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo uk Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/uk/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/uk/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Лампа для нагріву пластин SiC під час їх обробки"></p> <p>На заводі з виробництва кристалів SiC є пластини розміром 150 мм, які знаходяться у пристрої для літографії та готові до процедури обробки фотоотповідником. Навіть незначне зміщення температури на кілька градусів може порушити контроль за критичними параметрами, що призведе до значних втрат. Тож лампа-нагрівач не може бути просто джерелом тепла – вона повинна функціонувати як точний термічний пристрій.</p> <p><strong>Що є важливим у конструкції</strong><br> Ми створили лампу-нагрівач для обробки пластин SiC на основі короткохвильових інфрачервоних галогенових випромінювачів, розміщених у кварцовому корпусі. Це забезпечує швидку реакцію та стабільну потужність випромінювання. У зоні нагріву досягається однорідність температури на рівні ±0,1°C, а точність регулювання температури становить ±0,5°C між серіями продукції. Швидкість передачі енергії підлаштовується під потреби процедур м’якого та жорсткого нагріву фотоотповідника. Термічний профіль залишається стабільним протягом 5 000+ годин, з втратою потужності менше 5%. Корпус лампи сумісний з умовами чистої кімнати класу 1–100; наявні спеціальні елементи для запобігання утворенню частинок під час роботи.</p>