http://ir-heater-star.com/uk/tags/%D1%86%D1%81%D0%B2/ Recent content in ЦСВ on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo uk Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/uk/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/uk/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Нагрівач типу TSV (Through Silicon Via)"></p> <p>На лінії виробництва процеси травлення та заповнення отворів TSV не залишають жодних можливостей для теплових змін. Зміна температури на 2°C під час процедури випалювання фотолаку може пошкодити контроль за критичними розмірами елементів та спричинити утворення порожнин у заповнювачах отворів. Нагрівач TSV забезпечує стабільність температури на рівні ±0,1°C протягом усього процесу.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі</strong><br> Ми створили нагрівач TSV на основі галогенних ламп із швидкою реакцією, налаштованих на короткі хвилі інфрачервоного світла, щоб фотолак та кремній могли прямо поглинати це світло. Рівень температури досягає заданого значення за кілька секунд, а швидкість зміни температури дозволяє зберігати точність при варіаціях до 0,5°C/с. Система може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100 без утворення частинок; рівень частинок не перевищує 0,1 частинки/см². Нагрівач призначений для цілодобової роботи без перерв, а тепловий баланс залишається під контролем, що забезпечує цілісність елементів та захисних шарів.</p>