http://ir-heater-star.com/uk/tags/%D1%82%D0%B5%D1%80%D0%BC%D0%BE%D0%BF%D0%B0%D1%80%D0%B0/ Recent content in Термопара on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo uk Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/uk/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/uk/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Термопара для напівпровідникового нагрівача"></p> <p>На виробничій лінії температура — це не просто число, а межа між отриманням придатного продукту та браком. Зсув на 0,5°C на гарячій плиті може вивести процес м’якого випікання фоторезисту за межі специфікації. Якщо ж проводити жорстке випікання на кілька градусів вище, з’являться втрати CD і стійкий наліт. Літографія та обробка фоторезисту не терплять відхилень у тепловому бюджеті, а чиста кімната теж не прощає помилок.</p> <p><strong>Що має значення всередині процесу</strong><br> Ми підбираємо термопару відповідно до геометрії нагрівача, щоб вимірювати температуру безпосередньо у критичній точці. Мета — досягти теплової однорідності на рівні пластини в межах ±0,1°C протягом усього процесу. Геометрію з’єднання та оболонки обирають так, щоб мінімізувати помилки теплопровідності та самонагрівання, що дозволяє зберігати точність встановленої температури під час підйомів і витримок. Матеріали і конструкція відповідають класам чистоти 1–100, з поверхнями, які практично не генерують частинки і контролюють виділення газів. Температура залишається стабільною цілодобово, що забезпечує повторюваність від запуску до запуску.</p>