http://ir-heater-star.com/tr/tags/termokupl/ Recent content in Termokupl on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo tr Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/tr/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/tr/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Yarı iletken ısıtıcı için termokupl"></p> <p>Hat üzerinde sıcaklık sadece bir sayı değildir—verim almak ile hurda üretmek arasındaki çizgidir. Sıcak plaka üzerinde 0.5°C’lik bir sapma, fotoresist yumuşak kür sürecini spesifikasyon dışına çıkarabilir. Sert kürü birkaç derece yüksek sıcaklıkta çalıştırırsanız, CD kaybı ve yüzey kirlenmesi gözlemlersiniz. Litografi ve fotoresist işlemleri termal bütçeye tolerans göstermez, ve temiz oda da çok fazla tolerans tanımaz.</p> <p><strong>Kaputun altında önemli olanlar</strong><br> Termokuplu ısıtıcı geometrisiyle eşleştiriyoruz, böylece ölçüm doğrudan kritik noktadan yapılır. Amaç, proses penceresi boyunca ±0.1°C içinde wafer seviyesinde termal uniformite sağlamaktır. Bağlantı noktası ve kılıf geometrisi, ısıl iletim hatası ve kendi kendine ısınmayı minimize etmek için seçilir; böylece ayar noktası doğruluğu rampalar ve bekletmeler boyunca korunur. Malzeme ve konstrüksiyon, Class 1–100 temiz oda standartlarına uygun olup, yüzeyler partikül oluşumunu minimuma indirir ve gaz salınımını kontrol altında tutar. Sistem gün boyu kararlılığını korur; böylece run-to-run tekrar edilebilirlik etkilenmez.</p>