http://ir-heater-star.com/tr/tags/sic/ Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo tr Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/tr/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/tr/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="SiC yongası işleme ısıtıcı lambası"></p> <p>Üretim alanında, 150 mm’lik SiC waferleri litografi ünitesinde bulunur ve fotoresistin pişirilmesi için hazır durumdadır. Sadece birkaç derecelik sıcaklık değişikliği bile kritik boyut kontrolünü bozabilir ve büyük maliyetlere yol açabilir. Bu yüzden ısıtıcı lamba sadece bir ısı kaynağı olamaz; tekrarlanabilir bir termal cihaz gibi davranmalıdır.</p> <p><strong>Önemli olan faktörler</strong><br> SiC waferlerinin işlenmesi için kullanılan ısıtıcı lambalar, hızlı tepki veren ve stabil çıkış sağlayan kısa dalga boylu kızılötesi halojen ışık kaynaklarından oluşur. Böylece pişirme bölgesinde waferler arasında ±0,1°C’lik bir eşitlik sağlanır ve parti başına ±0,5°C’lik tekrarlanabilirlik elde edilir. Güç yoğunluğu, fotoresistin yumuşak ve sert pişirilmesi için uygun şekilde ayarlanmıştır. Ayrıca, 5.000 saatten fazla kullanım sonrasında bile çıkışta %5’ten az bir düşüş olur. Bu lamba, Class 1–100 standartlarına uygun bir şekilde tasarlanmıştır; bağlantı noktaları ve <a href="https://o-yate.com">koruma</a> sistemleri sayesinde işletim sırasında parçacık oluşumu engellenir.</p>