Neden ozonsuz IR kurutma yöntemi yarı mamuller için en iyi çözümdür?
Eğer yarı iletken üretimi alanında çalışıyorsanız, bu konuları zaten biliyorsunuzdur. Kurşunsuz ve çevre dostu ürünlerle ilgili kurallar sadece tavsiyeler değil; bunlar zorunluluklardır.
Ancak sorun şu ki, standart IR lambaları gibi eski ısıtma yöntemleri ozon oluşturma eğilimindedir. 185nm ile 254nm aralığında radyasyon yaydıkları için havadaki oksijeni korozif bir gaz haline getirirler. Bu durum oldukça sorunlu; çünkü ozon, hassas bileşenleri tahrip eder ve havanın solunabilir kalmasını sağlamak için büyük miktarda havalandırma sistemi kullanmak zorunda kalırsınız.
Ozonu nasıl ortadan kaldırıyoruz?
Isıyı kaybetmeden bunu engellemenin bir yolunu bulduk. Kuvars kaplamaların üzerine özel bir filtre katmanı yerleştirdik. Bunu, lambanın “yüksek teknolojili güneş gözlükleri” olarak düşünebilirsiniz. Bu katman, ozon oluşturan VUV ışınlarını engellerken, kurutma işlemi için gerekli olan ışınların geçmesine izin verir. Böylece yine yoğun ısı elde edilir, ancak kimyasal sorunlar ortadan kalkar. Ayrıca, korozif gazlarla uğraşmadığınız için ağır ozon uzaklaştırma sistemlerine gerek kalmaz. Ekipman alanınız daralır ve daha fazla alan kazanırsınız. Bu da kazan-kazan durumudur.
Hızlı ısı ve az stres
IR kurutma yönteminde ısı doğrudan hedefe aktarılır. Tüm fırın alanını ısıtıp havanın ısınmasını beklemek yerine, bu lambalar doğrudan hedefe odaklanır. Yüksek yoğunluklu filamlar kullanıldığı için ısınma süreci neredeyse anlık gerçekleşir. Böylece istenen sıcaklıklara saniyeler içinde ulaşılır. Bu da waferin termal dengesini korumaya yardımcı olur. Eğilme veya yanlış doping olmaz; sadece temiz ve hızlı ısı elde edilir.
Mühendislik açısından birkaç önemli nokta
Elbette bazı Trade-off’lar var. Bu ozonsuz lambalar çok güçlüdür. Isı çok yoğun olduğundan, fırında lambaları çok yakın yerleştirirse sorunlar ortaya çıkabilir. Lamba aşırı ısınırsa sorunlar başlar. Soğutma fanlarının ve ısı dağıtıcılarının yeterli olduğundan emin olun. Eğer hava akışı yetersizse kuvars kırılabilir ve lambanın ömrü kısalır. Bu yüzden özelliklerinizi tekrar kontrol etmek önemlidir.
Pratikte nasıl kullanılır?
İster kurşunsuz lehimleme işlemleri yapın ister fotoresistleri kurutun, bu lambalar eski ısıtıcıların yerine kolayca kullanılabilir. Isı tasarrufu sağlayarak ve zararlı emisyonları ortadan kaldırarak yeşil standartlara ulaşmanıza yardımcı olurlar. Ayrıca, mevcut PID kontrol cihazlarına bağlanarak sıcaklıkları tam olarak istenen seviyede tutabilirsiniz. Çok basit.