Sınıf 100 temiz oda koşullarını gerçekten temiz tutmak
Eğer Sınıf 100 ortamında silikon waflerini ısıtıyorsanız, gaz salınımının ne kadar kötü bir durum olduğunu zaten biliyorsunuzdur. Bir mikro parça veya serbest kalan VOC maddeleri bile tüm ürünlerin boşa gitmesine neden olabilir. Bu oldukça rahatsız edici bir durumdur.
İşte bu yüzden standart ısıtıcıları kullanmayı bıraktık. Bunun yerine yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambaları kullanıyoruz.
Neden kuvars?
Metal kaplı ısıtıcılar zamanla oksitlenir veya soyulur. Bu da temiz odalarda felaket anlamına gelir. Kullandığımız kuvars ise metal iyonlarının hareket etmesini engelleyecek kadar saf bir malzemedir. Ayrıca bu yöntem temas gerektirmez; IR radyasyonu doğrudan wafer yüzeyine ulaşır. Hiçbir temas veya sürtünme olmaz; sadece temiz ve doğrudan enerji iletimi gerçekleşir.
“Sıfır kirlilik” yaklaşımı
Tüm gereksiz malzemeleri ortadan kaldırdık. Yapıştırıcılar, ucuz polimerler… Gaz salınımına veya parçacık oluşumuna yol açabilecek hiçbir şey yok. Her bir contanın kimyasal olarak inert olduğundan eminiz.
Ayrıca termal genişleme konusunda da çok çaba sarf ettik. Bu tüpler hızlıca çalıştırıldığında bile kırılmaz. Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Maksimum güçle çalıştırıldıklarında çok sıcak olurlar. Vakum veya hava akış sisteminizin bu sıcaklığı idare edebileceğinden emin olun; aksi takdirde cihazınız aşırı ısınabilir.
Üretim sürecinize entegre etmek
Boyutlarını küçük tuttuk ki mevcut işleme odalarına kolayca yerleştirilebilsinler. Bunlar yerine takılabilir şekilde tasarlandığı için saatlerce bozuk bir cihazla uğraşmanıza gerek kalmaz. Ayrıca yüksek saflıkta malzemeler kullandığımız için, daha ucuz alternatiflerde görülen o rahatsız edici bulanıklıklar oluşmaz. IR ışığının iletimi uzun vadede de güçlü kalır.
Elektrik kaynağınız stabil ve sessiz olduğu sürece, tüm wafer üzerinde mükemmel bir ısı dağılımı elde edersiniz. Bu kadar basit.