Нагреватель TSV (Through Silicon Via)

Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800

На производственном участке процессы травления и заполнения отверстий TSV не оставляют возможности для тепловых изменений. Изменение температуры на 2°C во время обработки фотополимера может нарушить точность контроля размеров элементов и привести к образованию пустот в заполняющем материале. Нагреватель TSV обеспечивает стабильность температуры на уровне ±0,1°C на всем протяжении процесса.

Что действительно важно Мы разработали нагреватель TSV с использованием галогенных ламп с быстрой реакцией, работающих в диапазоне коротких волн инфракрасного излучения, что позволяет фотополимеру и кремнию эффективно поглощать энергию. Установка заданной температуры происходит за считанные секунды, а скорость изменения температуры сохраняется в пределах 0,5°C/сек. Система может работать в чистых комнатах класса 1–100 без образования частиц; количество частиц не превышает 0,1 частицы/см². Нагреватель рассчитан на круглосуточную работу без перерывов, при этом температурный режим остается под контролем, что гарантирует целостность структуры и надежность барьерных слоев.

Через) on Five-Star Infrared Heating Systems

Нагреватель TSV (Through Silicon Via)