http://ir-heater-star.com/ru/tags/%D1%82%D0%B5%D1%80%D0%BC%D0%BE%D0%BF%D0%B0%D1%80%D0%B0/ Recent content in Термопара on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ru Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/ru/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/ru/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Термопара для полупроводникового нагревателя"></p> <p>На производственной линии температура — это не просто число, а граница между получением выхода и браком. Отклонение в 0,5°C на горячей пластине может вывести процесс мягкой сушки фоторезиста за пределы спецификации. Если провести жесткую сушку при температуре на несколько градусов выше нормы, появятся потери CD и загрязнения. Литография и обработка фоторезиста не прощают ошибок в тепловом бюджете, а в чистой комнате допускается очень мало отклонений.</p> <p><strong>Что важно внутри оборудования</strong><br> Мы подбираем термопару в соответствии с геометрией нагревателя, чтобы измерение происходило непосредственно в ключевой точке. Цель — обеспечить тепловое равномерное распределение на уровне ±0,1°C по всей площади пластины в пределах технологического окна. Геометрия перехода и оболочки выбрана для минимизации ошибок теплопроводности и самонагрева, что обеспечивает точность установки температуры при разгонах и выдержках. Материалы и конструкция соответствуют требованиям чистых помещений классов 1–100, с поверхностями, минимизирующими генерацию частиц и контролирующими дегазацию. Стабильность поддерживается круглосуточно, что сохраняет повторяемость от запуска к запуску.</p>