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		<title>SiC on Five-Star Infrared Heating Systems</title>
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		<description>Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems</description>
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				<title>Lâmpada de aquecimento para processamento de wafers de SiC</title>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png&#34; alt=&#34;Lâmpada de aquecimento para processamento de wafers de SiC&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Na área de processamento das wafers de SiC, há uma wafer de 150 mm que está na célula de litografia, pronta para ser submetida ao processo de secagem do fotoresistente. Uma variação de temperatura de apenas alguns graus pode afetar negativamente o controle das dimensões críticas da wafer, o que acarreta grandes custos. Portanto, a lâmpada de aquecimento não pode ser apenas uma fonte de calor – ela precisa funcionar como um instrumento térmico preciso e confiável.&lt;/p&gt;</description>
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