Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)

Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800

No setor de litografia, uma FOUP continua a se mover, ainda carregando uma fina camada de água resultante da última limpeza. Se o processo de aquecimento começar a falhar, o perfil do fotoresistso muda, e o controle das dimensões críticas fica comprometido, antes mesmo que a exposição comece. É necessário um secador de FOUP capaz de remover a umidade e manter a temperatura estável – sem necessidade de suposições.

O que é importante por trás disso tudo
Utilizamos ondas infravermelhas de média frequência para um aquecimento rápido e direto, sem a dispersão de partículas no ar. A uniformidade em nível de wafer permanece dentro de ±0,1°C, garantindo que cada wafer receba o mesmo tratamento térmico durante os processos de aquecimento. A compatibilidade com salas limpas de classe 1–100 é alcançada graças a caminhos de fluxo de ar selados e materiais com baixa emissão de gases, o que reduz a quantidade de partículas presentes. O aquecedor é projetado para funcionar 24/7, e sua confiabilidade é avaliada pelo tempo de operação e pelos intervalos de manutenção, e não por critérios de marketing.

Abertura on Five-Star Infrared Heating Systems

Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)