TSV (Through Silicon Via) verwarmer

Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800

Op de productielijn zorgen de TSV-procedures voor een constante temperatuur, zodat er geen ruimte is voor thermische afwijkingen. Een verschil van 2°C tijdens het verhitten van de fotoresist kan leiden tot problemen met de nauwkeurige controle van de afmetingen en tot ontstane holtes in de vulling van de TSV’s. De heaters voor de TSV’s houden de temperatuur op het niveau van ±0,1°C, over het hele proces heen.

Wat belangrijk is achter de schermen
We hebben de heaters ontworpen met behulp van snel reagerende halogeenlampen, die zijn afgestemd op kortegolflicht. Hierdoor wordt de fotoresist en het silicium direct verhit. De temperatuur bereikt snel het gewenste niveau, en de verhogingssnelheid blijft binnen de grenzen van 0,5°C/s. Het systeem kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100, zonder dat er extra deeltjes worden gegenereerd; dit blijkt uit het feit dat er maximaal 0,1 deeltje per cm² aanwezig is. Het systeem is bedoeld voor 24/7 gebruik, zonder onverwachte stilstand. De thermische condities blijven onder controle, zodat de integriteit van de TSV’s en de barrielaag niet wordt aangetast.

TSV on Five-Star Infrared Heating Systems

TSV (Through Silicon Via) verwarmer