http://ir-heater-star.com/nl/tags/thermokoppel/ Recent content in Thermokoppel on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo nl Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/nl/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/nl/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Thermokoppel voor halfgeleiderverwarmer"></p> <p>Op de productielijn is temperatuur niet zomaar een getal—het bepaalt het verschil tussen opbrengst en afval. Een afwijking van 0,5°C op de hot plate kan de soft bake van de photoresist buiten specificatie brengen. Draai je de hard bake een paar graden te heet, dan <a href="https://o-yate.net">krijg</a> je CD-verlies en scumming. Lithografie en photoresistverwerking vergeven geen thermisch budget, en de cleanroom vergeven ook weinig.</p> <p><strong>Wat er <a href="https://henruite.com">onder</a> de motorkap telt</strong><br> We stemmen de thermokoppel af op de geometrie van de heater, zodat deze direct meet op het kritieke punt. Het doel is thermische uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C over het procesvenster. De aansluiting en de mantel zijn gekozen om geleidingfouten en zelfverwarming te minimaliseren, zodat de setpointnauwkeurigheid behouden blijft tijdens opwarm- en inwerktijden. Materialen en constructie voldoen aan Class 1–100 cleanroom eisen, met oppervlakken die deeltjesgeneratie vrijwel uitsluiten en uitgassing onder controle houden. Dit zorgt voor stabiliteit gedurende de hele dag, zodat de herhaalbaarheid tussen runs niet wordt aangetast.</p>