AFM (Atomaire krachtmicroscoop) verwarmer

Wed, 17 Jun 2026 11:18:54 +0800

Op het AFM-platform leidt een temperatuurverschil tot metingen die onnauwkeurig zijn. Een verschil van half graden is al voldoende om de precieze positie van de randen te verstoren, waardoor de profielen van de fotoresist veranderen. Dit kan er weer toe leiden dat goedgekeurde producten opnieuw moeten worden verwerkt. We hebben de warmtebron van de AFM zo ontworpen dat deze de sonde en het monster op het gewenste temperatuurniveau houdt, zonder dat het systeem constant moet aanpassen.

Wat belangrijk is
We hebben ons gericht op een snelle en stabiele werking, evenals op een hoge gelijkmatigheid. De warmtebron maakt gebruik van kortegolf-infraroodlicht, in combinatie met een kwartsvenster voor een schone doorlaat. Hierdoor kan 150 W worden geleverd in een compacte behuizing. Het systeem is afgesloten in een circuleercircuit, waarbij een gekalibreerde sensoren ervoor zorgt dat de temperatuur binnen ±0,1°C blijft. De behuizing is geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100. Er worden materialen gebruikt die weinig dampen afgeven, en het oppervlak zorgt er ook voor dat geen deeltjes vrijkomen. Na thermische cycli blijft de temperatuur binnen ±0,05°C, zodat de resultaten consistent blijven.

Verwarmingslamp voor vermogensapparaatwafers

Sat, 06 Jun 2026 01:02:38 +0800

Op de productievloer kan een fotoresist-bak die zelfs maar licht afwijkt de opbrengst saboteren nog voordat u het op de lijn ziet. Bij power device wafers is het thermisch budget krap—de verwarmingslamp moet telkens dezelfde temperatuur bereiken, cyclus na cyclus, batch na batch. Geen afwijkingen. Geen verrassingen.

Wat telt onder de motorkap

We gebruiken kortegolf halogeen-elementen binnen een kwartsomhulsel, afgestemd op snelle, schone stralingswarmte. Het systeem richt zich op uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C, bereikt snel de ingestelde waarde en houdt deze vast onder belasting.
Het is ontworpen voor Class 1–100 cleanrooms: materialen met lage uitgassing en een geometrie die de deeltjesproductie beperkt. De output is reproduceerbaar voor 24/7 gebruik, met een lange elementlevensduur en stabiele spectrale output—zodat uw soft bake- en hard bake-profielen constant blijven.

Kracht on Five-Star Infrared Heating Systems

AFM (Atomaire krachtmicroscoop) verwarmer

Verwarmingslamp voor vermogensapparaatwafers

Wat telt onder de motorkap