Meer warmte op de plekken waar het echt nodig is: het drogen van wafern
Als je een lijn hebt voor het drogen van wafern, ken je vast de uitdagingen. Je hebt een perfect temperatuurprofiel nodig over het hele oppervlak van de wafer, maar je wilt je elektriciteitsbudget niet verspillen aan dit proces.
Het probleem is dat IR-lampen veel warmte in alle richtingen afgeven. Zonder een goede reflector wordt de behuizing van de machine eerder opgewarmd dan het product zelf. Hierdoor gaat de helft van de energie al verloren voordat deze de wafer bereikt.
Waarom we voor goud kiezen
Sommige mensen gebruiken aluminium omdat het goedkoop is. Maar aluminium neemt te veel energie op en werkt minder goed wanneer het erg heet wordt. Wij gebruiken lagen van zeer zuiver goud. Waarom? Omdat goud uitstekend is in het weerkaatsen van infraroodlicht. Het stuurt bijna al die straling terug naar de wafer. Hierdoor krijg je meer warmte per watt energie die je gebruikt. Bovendien wordt de warmte gelijkmatig verdeeld. Er zijn geen hete plekken en de wafern blijven in goede staat.
Slimme vormen voor een langere levensduur
Het gaat niet alleen om het materiaal, maar ook om de vorm. We buigen deze reflectoren zodat de straling zich concentreert in een kleine, gecontroleerde zone. Hierdoor kun je de lampen minder intensief gebruiken. Je verkrijgt dezelfde droogtijd, maar de lampen hoeven minder te werken. Dit betekent dat de filamenten minder onder druk komen te staan, zodat je ze minder vaak hoeft te vervangen.
De prijs-kwaliteitverhouding
Goud is natuurlijk niet goedkoop. Het vereist een grotere investering dan gepolijst staal of aluminium. Bovendien moet je er goed voor zorgen. Als er stof of chemicaliën op het gouden oppervlak terechtkomen, ontstaan er ‘ hete plekken’, waar de energie wordt opgenomen in plaats van weerkaatst. Hierdoor kan de coating beschadigen. Houd ze dus schoon. Houd je aan een strikt schoonmaakschema, dan blijven ze goed werken.
Nog één ding om rekening mee te houden
Omdat je zoveel warmte op de wafer richt, kan de kamersomgeving iets warmer worden dan normaal. Zorg er dus voor dat je koelsysteem de extra belasting aankan.