http://ir-heater-star.com/ms/tags/semaikonduktor/ Recent content in Semaikonduktor on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ms Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/ms/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ Wed, 03 Jun 2026 01:20:40 +0800 http://ir-heater-star.com/ms/posts/thermocouple-for-semiconductor-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Termokopel untuk pemanas semikonduktor"></p> <p>On the line, suhu bukan sekadar nombor—ia adalah garis pemisah antara menghasilkan hasil dan menghasilkan sisa. Perpindahan 0.5°C pada plat panas boleh menyebabkan proses soft bake photoresist tidak mengikut spesifikasi. Jalankan hard bake beberapa darjah lebih panas, dan anda akan melihat kerugian CD dan scumming. Litografi dan pemprosesan photoresist tidak memaafkan bajet terma, dan bilik bersih juga tidak memaafkan banyak perkara.</p> <p><strong>Apa yang penting di bawah hud</strong></p> <p>Kami memadankan termokopel dengan geometri pemanas supaya ia <a href="https://henruite.com">mengukur</a> terus di titik yang penting. Sasaran adalah keseragaman terma pada tahap wafer dalam julat ±0.1°C merentasi tetingkap proses. Geometri junction dan sheath dipilih untuk mengurangkan ralat penghantaran haba dan pemanasan <a href="https://goldisgood.com">sendiri</a>, supaya ketepatan setpoint terpelihara sepanjang proses pemanasan dan pengekalan suhu. Bahan dan pembinaan dinilai untuk bilik bersih Kelas 1–100, dengan permukaan yang mengurangkan penghasilan zarah hampir sifar dan mengawal pengeluaran gas. Ia kekal stabil sepanjang masa, jadi kebolehulangan dari satu larian ke larian berikutnya tidak terjejas.</p>