FOUP (Front Opening Unified Pod) – Pengering

Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800

Di bilik litografi, FOUP tersebut masih mempunyai lapisan air yang tipis akibat proses pembersihan sebelumnya. Jika suhu semasa proses pengeringan berubah-ubah, profil photoresist akan terganggu, dan kawalan dimensi kritikal akan menjadi kurang tepat sebelum proses pendedahan bermula. Oleh itu, diperlukan alat pengering FOUP yang mampu menghilangkan kelembapan dan mengekalkan suhu secara konsisten—tanpa perlu membuat anggaran.

Apa yang penting di sebaliknya
Kami menggunakan sinar inframerah gelombang sederhana untuk pemanasan yang cepat dan efektif, tanpa menyebabkan zarah-zarah berterbangan. Kekonsistenan suhu pada setiap wafer tetap berada dalam lingkungan ±0.1°C, sehingga setiap wafer mendapat suhu yang sama semasa proses pengeringan. Keserasian dengan bilik bersih kelas 1–100 dicapai melalui saluran udara yang tertutup dan bahan-bahan yang menghasilkan sedikit gas, sekali gus mengurangkan jumlah zarah di udara. Pemanas tersebut direka untuk berfungsi 24/7, dan kebolehpercayaannya dinilai berdasarkan masa operasi dan jadual penyelenggaraan, bukan berdasarkan promosi.

(Depan) on Five-Star Infrared Heating Systems

FOUP (Front Opening Unified Pod) – Pengering