Di bilik pemprosesan wafer, masalah perubahan suhu semasa proses penggunaan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan begitu sahaja. Masalah ini akan menyebabkan variasi lebar garisan pada permukaan wafer, masalah ketepatan penempelan bahan tersebut pada wafer, serta penurunan kadar pengeluaran wafer dari satu sesi ke sesi yang lain. Oleh itu, diperlukan sumber haba yang dapat bekerjasama dengan proses tersebut, bukannya menghalangnya. Lampu RTP kami memenuhi syarat ini dengan sempurna.
Lampu ini menggunakan pemanas inframerah berfrekuensi pendek dan sederhana, yang direka khusus untuk memindahkan tenaga dengan cepat dan efisien. Dengan cara ini, suhu pada permukaan wafer dapat dikawal dengan tepat, dalam lingkungan ±0.1°C. Selain itu, proses pembakaran bahan pada wafer juga dapat dilakukan secara konsisten, tanpa menjejaskan kualiti wafer. Pembebasan bahan pelarut juga dapat dikawal dengan baik, dan dimensi penting wafer tetap terkawal. Sistem ini beroperasi dalam bilik bersih kelas 1–100, tanpa adanya zarah-zarah berbahaya. Semua ini disokong oleh sistem pemantauan masa nyata serta penggunaan bahan-bahan yang tidak menghasilkan gas berbahaya.
Inilah sebabnya mengapa sistem ini berfungsi dengan baik dalam keadaan sebenar.
Dalam proses pengeringan wafer, pemanasan yang cepat dan tanpa sentuhan dari lampu ini membantu menghilangkan kelembapan tanpa merosakkan permukaan wafer. Dalam proses litografi pula, lampu ini membantu dalam proses pembakaran bahan tersebut dengan kawalan suhu yang tepat, sehingga memudahkan proses penghapusan kecacatan pada permukaan wafer. Untuk proses pengerasan bahan pula, lampu ini memastikan kelancaran proses pengeluaran wafer, tanpa menjejaskan kualiti wafer.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana tenaga tersebut digunakan secara langsung untuk memanaskan bahan dan wafer, bukannya untuk memanaskan seluruh bilik proses. Kebolehpercayaan sistem ini terbukti melalui operasi selama lebih dari 5,000 jam, dengan penurunan prestasi kurang dari 5%, sehingga masa henti yang tidak dirancang hampir mustahil berlaku.
Beberapa perkara praktikal yang perlu diperhatikan: Pemasangan lampu ini memerlukan penyesuaian saiz lampu dan sambungan elektriknya dengan alat RTP yang digunakan, serta memastikan aliran cahaya berjalan dengan lancar. Jika hal ini tidak dilakukan, kualiti hasil pemprosesan akan terjejas. Lampu ini berfungsi dengan baik dalam persekitaran yang bersih dan kering, serta memerlukan pemeriksaan berkala terhadap komponen lampu tersebut.
Walaupun agak rumit, lampu ini tidak tahan terhadap perubahan voltan yang mendadak. Oleh itu, adalah penting untuk melindungi bekalan kuasa agar sistem dapat beroperasi dengan stabil.