http://ir-heater-star.com/ko/tags/sic/ Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프"></p> <p>팹 내에서는 150mm 크기의 SiC 웨이퍼가 리소그래피 장비 내에 있으며, 이제 포토레지스트를 굽는 단계를 기다리고 있습니다. 단 몇 도의 온도 변동만으로도 정밀한 치수 제어가 어려워지며, 그로 인해 막대한 비용이 발생할 수 있습니다. 따라서 히터 램프는 단순한 열원에 그치지 않고, 반복 가능한 정밀한 열 제어 기능을 가져야 합니다.</p>