http://ir-heater-star.com/ko/tags/mems/ Recent content in MEMS on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Mon, 13 Jul 2026 16:51:29 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Mon, 13 Jul 2026 16:51:29 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터"></p> <p>공기를 가열하는 것을 중단하라: MEMS 웨이퍼를 건조시키는 더 나은 방법<br> MEMS 제조 과정에 참여해본 사람이라면, 웨이퍼를 건조시키는 데 얼마나 큰 어려움이 있는지 잘 알 것입니다. 이는 균형을 맞춰야 하는 문제입니다. 웨이퍼가 완전히 마르고 잔여물이 없어야 하지만, 너무 강한 열을 가하면 웨이퍼가 변형될 수 있습니다.<br> 대부분의 사람들은 웨이퍼를 일반적인 대류식 오븐에 넣어 건조시킵니다. 문제는 그런 오븐들이 모든 것을 가열한다는 점입니다. 공기도, 벽도, 케이스도… 웨이퍼만 제외하고 모든 것이 가열됩니다. 이는 에너지 낭비일 뿐만 아니라, 유지보수를 담당하는 사람들에게는 큰 골칫거리입니다. 여전히 뜨거운 도구를 만졌을 때 생기는 고통도 무시할 수 없습니다.<br> 그래서 우리는 단파 적외선 램프를 사용하여 정밀하게 열을 가하는 방식으로 전환했습니다.</p>