http://ir-heater-star.com/ko/tags/%ED%8F%AC%EC%9A%B0%ED%94%84/ Recent content in 포우프 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Tue, 30 Jun 2026 01:29:28 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="FOUP(프론트 오픈 유니파이드 포드) 건조기"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 마지막 세척 과정에서 남은 얇은 물막을 그대로 유지한 채 FOUP이 이동합니다. 만약 소프트 베이크 과정에서 온도가 변동한다면, 포토레지스트의 두께가 변하게 되고, 노출 작업이 시작되기 전에도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 따라서 습기를 제거하고 온도를 일정하게 유지해주는 FOUP 건조기가 필요합니다. 추측 없이 일관된 성능을 보장해야 합니다.</p>