http://ir-heater-star.com/ko/tags/%ED%8C%8C%EB%8F%84/ Recent content in 파도 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Fri, 05 Jun 2026 01:17:47 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="중파 쿼츠 히터 튜브"></p> <h1 id="제조-현장에서의-포토레지스트-베이킹은-준비-과정이-아닙니다-이는-선-폭-제어를-위한-게이트키퍼입니다-웨이퍼에서-2c의-드리프트가-발생하면-중요한-치수에-변동이-생깁니다-중파-석영-히터-튜브는-드리프트가-시작되기-전에-이를-중지하도록-설계되었습니다">제조 현장에서의 포토레지스트 베이킹은 준비 과정이 아닙니다. 이는 선 폭 제어를 위한 게이트키퍼입니다. 웨이퍼에서 2°C의 드리프트가 발생하면, 중요한 치수에 변동이 생깁니다. 중파 석영 히터 튜브는 드리프트가 시작되기 전에 이를 중지하도록 설계되었습니다.</h1> <h2 id="기술적으로-중요한-사항">기술적으로 중요한 사항</h2> <p>중파 석영은 포토레지스트 및 폴리머 필름과 잘 결합되는 대역에서 방출되므로, 챔버 벽이 아니라 필름을 가열합니다. 이를 통해 밀리미터 이하의 열 균일성을 제공하며, 신뢰할 수 있는 반복성을 보장합니다. 생산 과정에서는 베이크 표면에서 웨이퍼 전반에 걸쳐 ±0.1°C로 변환되며, 각 배치에서 세팅 포인트가 일관되게 유지됩니다. 튜브의 기하학과 방사율은 빠르고 제어된 상승과 반복 가능한 소킹을 위해 조정되어, 부드러운 베이크와 딱딱한 베이크 프로파일이 교대 근무 간에 드리프트하지 않도록 합니다.</p>