http://ir-heater-star.com/ko/tags/%ED%86%B5%ED%95%B4/ Recent content in (통해 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ Thu, 18 Jun 2026 00:59:21 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/tsv-through-silicon-via-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="TSV(실리콘을 통과하는 회로) 히터"></p> <p>제조 공정에서는 TSV를 에칭하고 채우는 과정에서 열 변동의 여지가 전혀 없습니다. 포토레지스트를 가열할 때 2°C만큼의 온도 변동이 생기면 치명적인 오차가 발생하여 비아 채우기 과정에 문제가 생길 수 있습니다. TSV 히터는 전체 공정 동안 웨이퍼 전체의 온도를 ±0.1°C 범위 내로 유지해 줍니다.</p>