http://ir-heater-star.com/ko/tags/%EC%B2%98%EB%A6%AC/ Recent content in 처리 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="SiC 웨이퍼 처리용 히터 램프"></p> <p>팹 내에서는 150mm 크기의 SiC 웨이퍼가 리소그래피 장비 내에 있으며, 이제 포토레지스트를 굽는 단계를 기다리고 있습니다. 단 몇 도의 온도 변동만으로도 정밀한 치수 제어가 어려워지며, 그로 인해 막대한 비용이 발생할 수 있습니다. 따라서 히터 램프는 단순한 열원에 그치지 않고, 반복 가능한 정밀한 열 제어 기능을 가져야 합니다.</p> http://ir-heater-star.com/ko/posts/graphene-processing-infrared-lamp/ Sat, 20 Jun 2026 01:57:29 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/graphene-processing-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="그래핀 가공용 적외선 램프"></p> <p>생산 현장에서는 포토레지스트를 건조할 때의 온도 조절이 단순한 선호 사항이 아니라, 제품의 품질을 결정하는 매우 중요한 요소입니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 2℃만큼의 온도 변동이 생겨도 웨이퍼의 두께가 변하거나 이상이 발생하여 전체 생산량에 악영향을 미칠 수 있습니다. 우리는 그러한 불확실성을 없애기 위해 그래핀 처리용 적외선 램프를 개발했습니다.</p> http://ir-heater-star.com/ko/posts/optical-wafer-processing-heater/ Tue, 02 Jun 2026 03:46:21 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/optical-wafer-processing-heater/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="광학 웨이퍼 가열기"></p> <p>라인 위에서 300mm 웨이퍼는 포토레지스트 프로파일을 고정하는 소프트 베이크 단계를 기다리고 있다. 2°C의 편차만으로도 치수에 치명적인 영향을 미쳐 전체를 불량 처리할 수 있다. 이러한 상황이 발생하지 않도록 광학 웨이퍼 처리용 히터를 설계했다.</p>