http://ir-heater-star.com/ko/tags/%EC%9E%A5%EC%B9%98/ Recent content in 장치 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 01:02:38 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 01:02:38 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="전력 소자 웨이퍼 가열 램프"></p> <p>반도체 제조 현장에서, 포토레지스트 베이크가 조금이라도 벗어나면 생산 수율에 치명적인 영향을 미치며 라인에서 바로 확인하기 어렵다. 전력 소자 웨이퍼의 경우 열 관리 한계가 엄격하여, 히팅 램프는 사이클마다, 로트마다 동일한 온도를 유지해야 한다. 온도 편차나 예기치 않은 변동이 없어야 한다.</p>