http://ir-heater-star.com/ko/tags/%EB%8B%88%EC%BD%98/ Recent content in 니콘 on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ko Fri, 19 Jun 2026 02:06:13 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ Fri, 19 Jun 2026 02:06:13 +0800 http://ir-heater-star.com/ko/posts/nikon-stepper-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="니콘 스테퍼 램프 교체"></p> <p>리소그래피 공정에서, 출력이나 온도 프로파일에 변동이 있는 니콘 스테퍼 램프는 단순히 빛의 세기만 약해지는 것이 아닙니다. 이로 인해 노출량에 오차가 생기고, 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서 포토레지스트의 상태도 제대로 유지되지 않습니다. 그 결과 선폭의 변동, 잔여 필름 형성, 수율 저하 등의 문제가 발생합니다. 이러한 문제들은 대부분 사람들이 간과하는 한 가지 요소 때문에 생깁니다.</p>