http://ir-heater-star.com/ja/tags/sic/ Recent content in SiC on Five-Star Infrared Heating Systems Hugo ja Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 03:01:43 +0800 http://ir-heater-star.com/ja/posts/sic-wafer-processing-heater-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-star.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="SiCウェーハ加工用ヒーターランプ"></p> <p>ファブの現場では、150mmのSiCウェーハがリソグラフィー装置内に置かれており、今にもフォトレジストの焼成が始まるところです。わずか<a href="https://o-yate.com">数度</a>の温度変動でも、重要な寸法制御が乱れ、多大なコストがかかってしまいます。そのため、ヒーターランプは単なる熱源として<a href="https://henruite.com">機能</a>するだけでなく、再現性のある熱管理装置として機能しなければなりません。</p> <p><strong>重要なポイント</strong> 私たちが開発したSiCウェーハ加工用のヒーターランプは、石英ケースに収められた短波長の赤外線ハロゲン発光体を使用しています。これにより、迅速な応答性と安定した出力が得られます。焼成エリア全体でのウェーハ表面上の温度均一性は±0.1℃以内であり、ロット間の設定値の再現性は±0.5℃です。出力密度は、フォトレジストのソフトバーン及びハードバーンの条件に合わせて調整されており、5,000時間以上使用しても出力低下は5％未満です。また、この装置はクラス1～100のクリーンルーム<a href="https://goldisgood.com">環境</a>に適合しており、接合部やシールドによって運転中の粒子の発生を完全に防ぎます。</p>